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某單位*/*"晶圓勻膠顯影機更正公告公告概要：公告信息：采購項目名稱*/*"晶圓勻膠顯影機品目貨物/設備/儀器儀表/其他儀器儀表采購單位******行政區域市轄區公告時間*年*月*日 *:*首次公告日期*年*月*日更正日期*年*月*日更正事項采購文件聯系人及聯系方式：項目聯系人矯玲玲、紀占采、吳沙沙、司馬維祖、殷琳琳、張鑫項目聯系電話*-*采購單位******采購單位地址/采購單位聯系方式/代理機構名稱中科高盛咨詢集團有限公司代理機構地址青島市市北區舞陽路*號*號樓*層代理機構聯系方式矯玲玲、紀占采、吳沙沙、司馬維祖、殷琳琳、張鑫；*-*；*******@*.*** 一、項目基本情況 原公告的采購項目編號：*****(**)-*　　　　　　 原公告的采購項目名稱：*/*"晶圓勻膠顯影機　　　　　　 首次公告日期：*年*月*日　　　　　　 二、更正信息 更正事項：采購文件 更正內容： 原招標文件：*、提交投標文件截止時間：*年*月*日 *點*分；開標時間：*年*月*日 *點*分*、第五章 采購需求一覽表及要求 三、技術要求 *. 各部品技術要求*.* 主機：#*.*.* 封閉式主機，用于提升小環境潔凈度；*.*.* 配備屏幕顯示器，由計算機進行工藝參數設定，具有專用控制軟件。軟件具有工藝參數設置、設備控制、硬件自我故障診斷與檢測功能，觸摸屏控制操作方便快捷。*.* 勻膠系統：★*.*.* 最大轉速：≥****；*.*.* 最大加速度：≥****/*；★*.*.* 轉速精度：±****；#*.*.* 滴膠范圍和精度：*.*～***±*.***；#*.*.* 背面清洗：背面距離邊緣≥***無殘留；*.*.* 夾持方式：真空吸附；*.*.* 具備膠嘴自動清洗功能；*.*.* 承片臺具備正反轉功能。*.* 顯影系統：★*.*.* 最大轉速：≥****；*.*.* 最大加速度：≥****/*；★*.*.* 轉速精度：±****#*.*.* 流量控制：*～*.**/***；*.*.* 流量控制精度：±*.**/***；*.*.* 夾持方式：真空吸附。*.* 自動傳送系統：#*.*.* 重復定位精度：±*.***；#*.*.* 對中精度：±*.***；*.*.* 取片方式：真空吸附。*.* 加熱烘烤系統：★*.*.* 熱盤數量：≥*；★*.*.* 溫度控制范圍：*℃～*℃；#*.*.* 溫度控制均勻性：±*℃；*.*.* 冷卻方式：自然冷卻。*.* 片盒：片盒位置≥*個位置。*.* 化學品柜：配備單獨化學品柜，用于放置光刻膠、顯影液等化學品。現更正為：*、提交投標文件截止時間：*年*月*日 *點*分；開標時間：*年*月*日 *點*分。*、第五章 采購需求一覽表及要求 三、技術要求 *. 各部品技術要求*.* 主機：#*.*.* 封閉式主機，用于提升小環境潔凈度；*.*.* 配備屏幕顯示器，由計算機進行工藝參數設定，具有專用控制軟件。軟件具有工藝參數設置、設備控制、硬件自我故障診斷與檢測功能，觸摸屏控制操作方便快捷。*.* 勻膠系統：★*.*.* 最大轉速：≥****；*.*.* 最大加速度：≥****/*；★*.*.* 轉速精度：±****；#*.*.* 滴膠范圍和精度：*～***±*.***；#*.*.* 背面清洗：背面距離邊緣≥***無殘留；*.*.* 夾持方式：真空吸附；*.*.* 具備膠嘴自動清洗功能；*.*.* 承片臺具備正反轉功能；#*.*.* 光刻膠管路數量≥*，可滿足不同粘度光刻膠使用需求：膠路*適配低粘度光刻膠，適配范圍*～***；膠路*適配高粘度光刻膠，適配范圍*～***；*.*.* 光刻膠溶劑（*******）采用單壓力罐供液，壓力罐容積≥**；具備過濾功能，過濾精度≤*.*μ*。*.* 顯影系統：★*.*.* 最大轉速：≥****；*.*.* 最大加速度：≥****/*；★*.*.* 轉速精度：±****#*.*.* 流量控制：*～*.**/***或更大范圍；*.*.* 流量控制精度：±*.**/***；*.*.* 夾持方式：真空吸附；#*.*.* 管路數量≥*，應包含一路堿性顯影液，一路去離子水；*.*.* 堿性顯影液采用單壓力罐供液，壓力罐容積≥**；具備過濾功能，過濾精度≤*.*μ*; *.*.* 去離子水由采購人提供，去離子水管路應具備過濾功能，過濾精度≤*.*μ*。*.* 自動傳送系統：#*.*.* 重復定位精度：±*.***；#*.*.* 對中精度：±*.***；*.*.* 取片方式：真空吸附。*.* 加熱烘烤系統：★*.*.* 熱盤數量：≥*；★*.*.* 溫度控制范圍：*℃～*℃；#*.*.* 溫度控制均勻性：*℃～*℃±*.*℃；*.*℃～*℃±*.*℃；*.*.* 冷卻方式：自然冷卻；*.*.* 單獨配置****（六甲基二硅氮烷）熱盤，數量≥*，溫度控制范圍*℃～*℃，溫度控制均勻性*℃～*℃±*.*℃、*.*℃～*℃±*.*℃。*.* 冷盤：★*.*.* 冷盤數量：≥*；*.*.* 溫度控制范圍：*℃～*℃；*.*.* 溫度控制均勻性：±*.*℃。*.* 片盒：片盒位置≥*個位置。*.* 化學品柜：配備單獨化學品柜，用于放置光刻膠、顯影液等化學品；若機臺能夠裝下使用所需的膠路與膠瓶，可不配備化學品柜。*.* 視頻監控模塊：勻膠、顯影等腔體以及傳輸機器人處，應配備視頻監控模塊，視頻數據可保存*天或以上。#*.* 根據工藝需求的預留空間，設備占地面積應≤***×***；根據層高及消防要求，設備高度應≤***。四、商務條件及其他要求*.* 驗收標準：*.*.* 涂膠均勻性：*μ*厚時均勻性≤*%，*μ*厚時均勻性≤*.*%；*.*.* 顯影均勻性：圖案線寬為*μ*時，均勻性≤*%；*.*.* 傳片穩定性：*片晶圓連續傳片無設備非正常報警；*.*.* 碎片率：*.*%；*.*.* 對符合工藝標準的試劑和去離子水，過濾后*.*μ*以上的顆粒增量≤*顆。 更正日期：*年*月*日　 三、其他補充事宜 本更正公告作為招標文件的組成部分之一，對各相關投標人均具有同等約束力，與招標文件不一致的部分以本公告為準。本公告一經發布，視為投標人已收到。 四、凡對本次公告內容提出詢問，請按以下方式聯系。 *.采購人信息 名 稱：******　　　　　 地址：/　　　　　　　　 聯系方式：/　　　　　　 *.采購代理機構信息 名 稱：中科高盛咨詢集團有限公司　　　　　　　　　　　　 地　址：青島市市北區舞陽路*號*號樓*層　　　　　　　　　　　　 聯系方式：矯玲玲、紀占采、吳沙沙、司馬維祖、殷琳琳、張鑫；*-*；*******@*.***　　　　　　　　　　　　 *.項目聯系方式 項目聯系人：矯玲玲、紀占采、吳沙沙、司馬維祖、殷琳琳、張鑫 電　話：　　*-*